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< Lucida GSH Series ALD >

㈜엔씨디는 국내 고객사에 반도체 장비에 사용되는 파트의 부식 방지 및 플라즈마 아킹 방지를 위한 특수 코팅용 대형 원자층 증착 생산 장비를 다시 추가 공급하였습니다.
본 계약 장비는 개선된 Lucida GSH Series ALD로, 기존 납품된 장비보다 한번에 더 많은, 더 무거운 제품에 원자층 증착을 할 수 있기 때문에, 고객은 보다 큰 코팅 생산성 증가 및 코팅 비용 절감 효과를 기대할 수 있습니다.
반도체 소자가 더욱 미세화, 집적화가 될수록 이전에는 문제가 되지 않았던 파티클 및 부산물이 소자 성능에 크게 영향을 줄 수 있어, 반도체 장비에 사용되는 파트들의 클리닝 주기 및 수명은 더욱 짧아지고 있습니다.
따라서 파트의 원자층 증착 보호 코팅은 매우 효과적인 방안일 수 있으며, 고품질의 균일한 원자층 코팅을 통하여 반도체 장비에 사용되는 고가의 파트에서 클리닝이나 교체없이 긴 사용 수명 증가 효과를 얻을 수 있습니다.
기존에는 원자층 증착 보호 코팅은 샤워헤드나 ESC 등 고가의 파트에 많이 적용되었지만, 최근에는 복잡한 가스 유로를 포함하는 다양한 반도체 장비 부품이나 형상이 복잡한 퀄츠 제품, 낮은 불순물 관리가 요구되는 고순도 프리커서 캐니스터 등 적용범위에 점차 늘어나는 추세입니다. 따라서 꾸준하고 계속적인 본 응용분야의 제품 및 시장 확대가 기대가 됩니다.
이번의 재계약은 ㈜엔씨디 의 산업용 원자층 증착 기술력과 장비의 우수성을 다시 한번 고객사에서 확인시켜준 것이며, 점차 확대되는 파트 보호용 원자층 코팅용 장비 시장을 선점한 것이라 하겠습니다. 앞으로도 ㈜엔씨디 는 최고의 기술력 및 고객의 신뢰를 바탕으로 새로운 원자층 증착 시장을 개척해 나가겠습니다.