저희는 현재 회사 내에 R&D용 ALD모델인 Lucida D100의 6인치 장비를 자체 set-up하여 학교 및 연구소의 연구자 분들께 가능한 무상으로 박막 공정 서비스를 진행하고 있으며 또한 ALD공정에 필요한 초기 precursor선정에서부터 초기 공정 recipe를 확보하기까지 공정 consulting을 해드리고 있습니다.

 이러한 방침은 장기적으로 저희 회사의 R&D장비 개발과 더불어 다양한 연구자분 들의 연구테마를 양산 장비개발에 접목할 수 있을 뿐만 아니라 상호간의 두터운 신뢰를 바탕으로 진정한 파트너가 되고자 서비스를 진행하고 있습니다.

또한 연구자분 들께서 허락하실 경우 공동으로 학회 발표나 논문저술활동 또한 동참하고자 하며 이는 회사를 홍보하는데 많은 도움이 되고 있습니다.

Service Materials

• Al2O3 (TMA+H2O)

• HfO2 (TEMAHf+H2O)

• ZrO2 (TEMAZr+H2O)

• TiO2 (TTIP or TDMAT +H2O)

• ZnO (DEZ+H2O)

• Al doped ZnO

• NiO (MABONi+H2O)

• Ru (RuDi+O2)