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¼±µÎ±â¾÷ÀÌ µÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù.

 

 

System Development

ALD/CVD Àåºñ °³¹ß

Lucida D, M, G & P series (R&D Àü¿ë)

Lucida S, GS, GD series (¾ç»ê¿ë)

 

 

 

Process Development

ÃÖÀûÀÇ °øÁ¤ Á¶°Ç °³¹ß

ÃÖÀûÀÇ ALD¿ë Program °³¹ß

Lucida series ¾ç»ê¿ë °øÁ¤ °³¹ß

 

 

 

Coating Services

ÀÚ»ç º¸À¯ Lucida D200 »ç¿ë

Çб³ ¹× ¿¬±¸¼Ò ¿¬±¸ÀÚ¸¦ À§ÇÑ ¹«»ó °øÁ¤ ¼­ºñ½º Á¦°ø

ÇöÀç º¸À¯ÇÑ Áö¿ø°¡´É °øÁ¤¼­ºñ½º 

(Al2O3, ZrO2, HfO2, TiO2, ZnO, NiO, Ru¡¦¡¦¡¦¡¦¡¦..) 

 

 

Process Consulting

°øÁ¤ ¼³°è ¼­ºñ½º

³³Ç°Ã³ : NDA ü°á ÈÄ Áö¼ÓÀûÀÎ °øÁ¤ ¼³°è

Çб³ : Precursor ¼±Á¤ ¹× °øÁ¤ recipe¼³°è

¿¬±¸¼Ò : °øÁ¤ ¼³°è ¹× ¼ÒÀÚ Àû¿ë Áö¿ø  

 

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