|
¿£¾¾µð´Â ALD/CVDÀåºñ°³¹ß ¹× Á¦ÀÛÀü¹® ȸ»ç·Î½á
10³â
ÀÌ»ó ALD/CVD°øÁ¤
°æ·ÂÀ»
°®´Â
Àü¹®°¡µé·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÃàÀûµÈ ³ëÇϿ츦 ±â¹ÝÀ¸·Î
±âÁ¸Àåºñ¿Í´Â
Â÷º°ÈµÈ ±â¼ú°ú ¼º´ÉÀ» °®Ãá R&D ¹× ¾ç»ê Àåºñ¸¦ °³¹ßÇϰí ÀÖÀ¸¸ç
¹«ÇÑÇÑ
µµÀüÁ¤½Å°ú âÀÇÀûÀÎ ³ë·ÂÀ¸·Î °í°´ ¿©·¯ºÐ°ú ÇÔ²² ¹àÀº ¹Ì·¡¸¦ °³Ã´ÇÏ´Â
¼±µÎ±â¾÷ÀÌ
µÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù.
|
|
|
System Development
ALD/CVD Àåºñ °³¹ß
Lucida D, M, G & P series (R&D Àü¿ë)
Lucida S, GS, GD series (¾ç»ê¿ë)
|

|
|
|
|
Process Development
ÃÖÀûÀÇ °øÁ¤ Á¶°Ç °³¹ß
ÃÖÀûÀÇ ALD¿ë Program °³¹ß
Lucida series ¾ç»ê¿ë °øÁ¤ °³¹ß
|

|
|
|
|
Coating Services
ÀÚ»ç º¸À¯ Lucida D200 »ç¿ë
Çб³ ¹× ¿¬±¸¼Ò ¿¬±¸ÀÚ¸¦ À§ÇÑ ¹«»ó °øÁ¤ ¼ºñ½º Á¦°ø
ÇöÀç º¸À¯ÇÑ Áö¿ø°¡´É °øÁ¤¼ºñ½º
(Al2O3, ZrO2, HfO2, TiO2, ZnO, NiO, Ru¡¦¡¦¡¦¡¦¡¦..)
|

|
|
|
|
Process Consulting
°øÁ¤ ¼³°è ¼ºñ½º
³³Ç°Ã³ : NDA ü°á ÈÄ Áö¼ÓÀûÀÎ °øÁ¤ ¼³°è
Çб³ : Precursor ¼±Á¤
¹× °øÁ¤ recipe¼³°è
¿¬±¸¼Ò : °øÁ¤ ¼³°è ¹× ¼ÒÀÚ Àû¿ë Áö¿ø
|

|
|