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LucidaTM GSH series ALD

Lucida GS Series

LucidaTMGSH500

工业涂层的原子层沉积设备

沉积薄膜：Al₂O₃, TiO₂, Y₂O₃, ZnO……………

基板尺寸：各种尺寸

PC控制系统

高量产用