Global Leader in ALD Technology
- 产品介绍
- Roll to Roll
- Lucida R
LucidaTM R 系列原子层沉积
ALD 设备系统为了 roll to roll 方式
活用
- Roll to roll ALD薄膜流程－很高的防潮性为了柔性OLED显示，柔性OLED照明， quantum dots, 柔性太阳能电池等等. : Al2O3, TiO2
- 在研究和试制品使用
- Web 幅:< 600mm
特点
- 最先进的流程KIT为了缩短气周期
- 很高的膜优秀跟polymer膜
- 可以使用多种物质在ALD系统
- 很容易的控制流程
技术 规格
| 型号 | 质料 | Web 幅 (mm) |
|---|---|---|
| LucidaTM R 300 | Al2O3, TiO2 | <300 |
| LucidaTM R 600 | Al2O3, TiO2 | <600 |