Global Leader in ALD Technology
- 产品介绍
- 平板显示用
- Lucida GD
LucidaTM GD 系列原子层沉积
LucidaTMGD730
OLED显示薄膜封装的原子层沉积设备
沉积薄膜：Al₂O₃, TiO₂
基板尺寸：≤ 730 x 920 mm 玻璃
PC控制系统
高量产用
LucidaTMGD1500
OLED显示薄膜封装的原子层沉积设备
沉积薄膜：Al₂O₃, TiO₂
基板尺寸：≥ 1500 x 1850 mm 玻璃
PC控制系统
高量产用