Global Leader in ALD Technology
- 产品介绍
- 太阳能电池用
- Lucida TS
LucidaTM TS 系列原子层沉积
为CIGS(铜铟镓硒薄膜太阳能电池)太阳能电池的无镉缓冲介质层用高产能原子层沉积系统
LucidaTMTS series
Cluster system for LucidaTM TS series
应用范围
- CIGS(铜铟镓硒薄膜太阳能电池)太阳能电池的无镉缓冲介质层(ZnS,ZnOS等等)
- 为工业化大批生产的适用
- 高产能 : 40面板每小时以上(1PM)
- 极板尺寸 : > 900x1600mm2
特征
- 先进的工艺kit及紧凑的反应室, 以实现短的反应气体循环周期
- 极其实现化的原子层沉积机制
- 小的占用面积
- 综合集成化的工艺单元模组
- 简便的工艺控制
技术数据
| 型号 | 材料 | 极板尺寸 (mm2) | 厚度 (nm) | 产能 (极板/小时) |
|---|---|---|---|---|
| LucidaTM TS600 | Zn(O,S) | >900x1600 | 30 | >40(1PM) |
| LucidaTM TS600-IN | Zn(O,S) | >900x1600 | 30 | >120 |