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LucidaTM GS 系列原子层沉积

Lucida GS Series

LucidaTMGS6000

硅太阳能电池的原子层沉积设备

沉积薄膜：Al₂O₃, ZnO, TiO₂

基板尺寸：156 x 156 mm 太阳能硅片

PC控制系统

高量产：到 6000 硅片/时间